1、选用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理办法，其底子工艺流程为：原水→沙炭过滤器→详细过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置详细过滤器→用水点

　　2、选用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的办法，其底子工艺流程为：原水→沙炭过滤器→详细过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置详细过滤器→用水点

　　3、选用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的办法，这是一种新的制取超纯水工艺，也是现在集环保、经济等长处于一身的，具发展潜力的超纯水制备工艺，其底子工艺流程为：原水→沙炭过滤器→详细过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水 泵→后置详细过滤器→用水点

　　超声波清洗用超纯水制备工艺中的电去离子设备

　　电去离子技术是一种将电渗析和离子交换技术结合后得到的新式脱盐工艺，因为它的英文名称是electrodeion ization，所以也有人称电去离子设备为EDI设备。

　　电去离子设备去除水质中的电介质时，不需要任何化学药剂辅佐，仅仅是经过电流效果就能够接连的完结作业。在以往的多种超纯水制备工艺中，只要电去离子工艺能够完全根绝污染;因而，电去离子技术也是绿色水处理技术的代表。