在超纯水系统中，管道的选择也非常重要，既要保证水质，又要经济合理。超纯水系统中常用的管道主要包括:PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316、PVDF等管道。

　　PVC管或SUS304管一般用于超纯水制造区的预处理阶段。设备面管一般采用内衬胶钢管（SGPRL），SUS304管用于水泵等振动动力设备周围；CPVC管或SUS304管用于一次纯水阶段。

　　高压泵与反渗透（RO）同时，由于压力高，必须采用SCH80SUS304管和耐压2.0Mpa级法兰。

　　由于RO对水温有一定的要求，RO前一般有热交换器，周围也应采用SUS304管；在超纯水制造阶段，主工艺一般采用SUS316管和CPVC管；抛光循环区主工艺一般采用SUS316管（焊接连接，双面成型）和PVDF管，超纯水回收管采用CPVC管。

　　纯化水储罐应采用无毒、耐腐蚀的材料制成，不锈钢材料可用于不直接接触纯化水或注射的零件。符合卫生消毒要求的材料：低碳不锈钢、聚丙烯、聚偏氟乙烯、聚四氟乙烯等。

　　2.纯水储罐的罐盖、人孔、罐底阀等部件应设计为卫生连接，便于拆卸和清洗。可拆卸零件与罐体之间的密封材料应无毒、无沉淀、耐高温、无脱落。

　　3罐体结构件不得有裂纹、焊接、变形，内壁表面光滑平整，无死角。

　　4.纯化水储罐较低处有排水口，可排出，无积水。必要时应考虑排空罐内所有人的要求；罐底排水管的管径应按输送泵的进水要求计算；排水管道应少设弯头，以减少泵吸入管道的损失。

　　5.储罐应配备液位计量装置，不得对水质产生不利影响。适用于工艺用水储罐的液位计量装置为电信号液位控制装置：液位开关、电容式液位计、隔膜压力式液位计、称重式液位计、雷达液位计等，为保证系统安全运行，罐内还可配备高低液位报警开关或与输送泵联锁的流量开关。

　　6.再循环系统储罐顶部应设置喷淋装置（喷淋球或喷淋管），其选择和安装位置应与罐顶设计相结合，确保罐顶和罐顶部件的所有内表面随时处于湿更新状态，并保持腔内温度＞80℃。回水的压力和流量应保证喷淋装置能有效工作，喷淋装置的设置应避免形成能滋生微生物的死角。