重庆摩尔水处理设备有限公司
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随着科学研究的不断进步和发展,半导体行业需要大量高质量的超纯水。目前,反渗透和离子交换设备的方法更为流行。
虽然一次成本略高于以前,但离子再生周期相对较长,酸碱消耗量远低于以前。本文分析了反渗透预处理和电去离子装置的方法,是超纯水制备相对先进和环保的工艺方法,无需酸碱再生即可连续生产超纯水,不会污染环境,超纯水是世界上纯净质量要求高的水。
半导体行业中超纯水设备系统采用先进的水处理技术和设备:预处理系统,降低水中溶解总固体的含量,去除水中的悬浮杂质。反渗透系统主要采用双级反渗透技术,以减少能耗。电去离子通常采用EDI模块和CEDI模块,EDI是指在浓水室注入盐水循环,降低膜组电阻率,不仅如此,还需要使用无硬度离子的精盐,以确保高精度。CEDI模块是指在不注入盐水循环的情况下,不使用化学物质,通过zhuanli树脂技术降低膜组电阻率,浓水电导率为20~100μS/cm,无极水排放,抛光混床部分基本采用双级抛光混床。
2;超纯水处理系统优化设计
传统纯水制备设备安装后,无人问津数据的收集和管理。传统模式对系统优化有很大的弊端。首先,它对水生产过程的操作人员有很大的依赖性,需要实时确认和解释水质、氮供应和各种汞的运行情况。因此,它对管理者的专业能力要求很高,会损失很多专业人才。
2.1;确定制备过程
针对原水水质和产水水质,制定相关的超纯水制备工艺。目前,超纯水处理系统的一些单元将根据不同情况增减,以满足不同行业的不同水质。例如,集成电路8英寸超纯水的电阻率为18M?-cm@25℃。在光电行业,蓝宝石衬底的超纯水要求电阻率至少为16M?-cm@25℃。光伏行业太阳能级多晶硅超纯水,对电阻率的要求一般为10M?-cm@25℃。
2.2;优化成本
设备成本和运行成本是超纯水设备的主要成本。设备成本一般是大部分成本。工艺流程制定后,考虑到备件的维护,可以购买国外设备,在功能不差的前提下可以购买国内设备。不要过分追求市场上高科技、高成本的设备,以免效率没有提高,成本大大提高。
2.3;稳定系统
确保稳定合格的水质是超纯水设备的目标。为了实现系统稳定性,过滤塔、汞和离子交换塔的设计采用N+1原则。在控制系统方面,采用支持热插拔和冗余的技术,以确保系统随时稳定运行。在电力系统方面,紧急电源一般可用于市政电源和不间断电源。