超纯水处理系统的一些单元将根据不同情况增减

　　随着科学研究的不断进步和发展，半导体行业需要大量高质量的超纯水。目前，反渗透和离子交换设备的方法更为流行。

　　虽然一次成本略高于以前，但离子再生周期相对较长，酸碱消耗量远低于以前。本文分析了反渗透预处理和电去离子装置的方法，是超纯水制备相对先进和环保的工艺方法，无需酸碱再生即可连续生产超纯水，不会污染环境，超纯水是世界上纯净质量要求高的水。

　　半导体行业中超纯水设备系统采用先进的水处理技术和设备：预处理系统，降低水中溶解总固体的含量，去除水中的悬浮杂质。反渗透系统主要采用双级反渗透技术，以减少能耗。电去离子通常采用EDI模块和CEDI模块，EDI是指在浓水室注入盐水循环，降低膜组电阻率，不仅如此，还需要使用无硬度离子的精盐，以确保高精度。CEDI模块是指在不注入盐水循环的情况下，不使用化学物质，通过zhuanli树脂技术降低膜组电阻率，浓水电导率为20～100μS/cm，无极水排放，抛光混床部分基本采用双级抛光混床。

　　2;超纯水处理系统优化设计

　　传统纯水制备设备安装后，无人问津数据的收集和管理。传统模式对系统优化有很大的弊端。首先，它对水生产过程的操作人员有很大的依赖性，需要实时确认和解释水质、氮供应和各种汞的运行情况。因此，它对管理者的专业能力要求很高，会损失很多专业人才。

　　2.1;确定制备过程

　　针对原水水质和产水水质，制定相关的超纯水制备工艺。目前，超纯水处理系统的一些单元将根据不同情况增减，以满足不同行业的不同水质。例如，集成电路8英寸超纯水的电阻率为18M?-cm@25℃。在光电行业，蓝宝石衬底的超纯水要求电阻率至少为16M?-cm@25℃。光伏行业太阳能级多晶硅超纯水，对电阻率的要求一般为10M?-cm@25℃。

　　2.2;优化成本

　　设备成本和运行成本是超纯水设备的主要成本。设备成本一般是大部分成本。工艺流程制定后，考虑到备件的维护，可以购买国外设备，在功能不差的前提下可以购买国内设备。不要过分追求市场上高科技、高成本的设备，以免效率没有提高，成本大大提高。

　　2.3;稳定系统

　　确保稳定合格的水质是超纯水设备的目标。为了实现系统稳定性，过滤塔、汞和离子交换塔的设计采用N+1原则。在控制系统方面，采用支持热插拔和冗余的技术，以确保系统随时稳定运行。在电力系统方面，紧急电源一般可用于市政电源和不间断电源。